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    我国实现LED芯片生产核心设备MOCVD国产化


    中新网上海12月12日电(记者 宗晨亮)12月12号,中国首台具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备发运庆典在张江高新区核心园举行。张江高新区管委会副主任侯劲及工信部、市经信委、浦东新区、常州等有关领导和5家客户出席了发运庆典仪式。

      作为LED芯片生产过程中最为关键的设备,MOCVD的核心技术长期被欧美企业所垄断,严重制约了中国LED产业的健康发展。中晟光电设备(上海)有限公司于今年初1月18日成功实现了拥有自主创新知识产权的具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备下线,仅用了10个月时间,又完成了工艺的开发和设备进一步的改进优化,完成了设备产业化生产必备条件与设施的建立;在此基础上又完成了4家客户的多次实地考察,亲临操作设备和验证各项工艺。

      客户充分肯定了中晟设备的技术方向和设计上的世界先进性,也对设备用于大规模生产提出了进一步改进的建设性要求。使该设备同时具有目前世界上最高的系统产能、最低的外延生产成本、良好的波长均匀性、大规模外延生产所需的各项关键性能等4项核心的差异竞争力。这次我国首台具有世界先进水平的大型国产MOCVD设备成功发运,不仅标志着在实现中国大型MOCVD设备国产化战略目标的征途上,中晟迈开了具有里程碑意义的一步,而且充分体现了中国有能力在高端装备领域实现跨越式的发展。

      中晟管理团队表示,首台MOCVD设备的发运还仅仅是一个阶段性成果。虽然MOCVD设备长期被垄断的局面已经打破,但在实现MOCVD设备国产化战略目标的征途上还将面临各种挑战,要不断提高性能以满足客户的需要,并在市场上得到的检验与认可。

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